正航介紹---真空系統特性參量
1、抽氣最置的抽速
在抽氣裝置進氣口處測得的抽速。
2、抽氣裝置的抽氣量
流經抽氣裝置進氣口處的氣體流量。
3、真空系統的股氣事
由真空系統內部所有表面解吸氣體所產生的氣體流量.
注:在真空系統內部經常出現一種漏氣假象，這種情況叫做"虛漏"。
4、真空系統的漏氣率
由于南氣滲入到真空系統中并影響真空容器中壓力的氣體流量。
5、真空害器的升壓率
在溫度保持不變時，抽氣系統關閉后，在給定時間間隔內，真空容器的壓力升高量除以讀時間間隔之商。該商有可能不是恒定的。
6、極限壓力
泵在工作時，空載干燥的真空容器逐漸接近、達到并維持穩(wěn)定的壓力。
7、殘余壓力
經過一定時間的抽氣之后或真空過程結束之后還存在于真空容器中的氣體或氣體提合物(瓏余氣體)的全莊，在某些情況下殘余壓力等于極限壓力。
注2 在真空技術中，“氣體”一詞按廣義的理解，即可適用于非冷凝性氣體也可應用于蒸氣。
8、粗抽時間
前級真空泵或前組真空抽氣機組從大氣壓抽至本底壓力或抽至在較低壓力下工作的真空泵的啟動壓力所需要的時間。
9、抽氣時間
將真空系統的壓力從大氣壓降低到一定壓力，例如降到本底壓力所需要的時間。
10、真空系統逝氣時間
經過規(guī)定的裝置放人的空氣使真空系統(或真空容器)內的壓力由工作壓力升高到較高的壓力(一
般到大氣壓)所需要的時間。如果放入的是空氣，那么該時間稱作"通大氣時間"。
11、真空容器；真空窒
根據力學計算能允許容器的壓力低于環(huán)境壓力的真空密封容器。
12、真空鐘罩
借助于一個可拆卸的連接部件，將其放置到另一個組件(一般來說是一塊底板)上并同這個組件共同組成一個真空室的鐘罩形組件。
13、真空容器底板
真空容器底板通常位于真空設備抽氣系統進氣口上并包含有實施過程所必要的真空室引人線。
14、真空岐管
可以和兩個或若干個真空容器相連可以同時進行抽氣的一種真空密封分配件。
15、真空閘室
連接在兩個不同壓力空間之間的真空室。它具有能與這個或那個相接的空間相適應壓力的連接裝置和能將物件從這個空間輸送到那個空間而在這些空間中壓力不發(fā)生干擾性變化的開孔(全部或部分可以關閉)。一般來說這些裝置和開孔用于將物件從大氣送入到真空容器中或從真空容器中取出到大氣中。